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强国4（第2页）

负责人下意识地说：“caduv光刻胶。”

庄彦瑜点点头，深紫外光刻胶的化学放大，的确是目前市面上常用的商用光刻胶。

而且据他所了解的，国外许多精细的设备都是对华国卡脖子的，现在研究所里面有这样一台光刻轨道系统确实不容易了，虽然粗糙了一点。

光刻轨道系统一共八个步骤，最重要的一步就是对准和曝光。

因为这一步，就是真正进入光刻的步骤。庄彦瑜说要改良的地方，也正是这一个地方。

光学芯片之所以离不开集成电路，就是因为它是通过在硅片上表面几微米形成的半导体器件，再通过加工形成材料层的图形来互相连接的。

这就意味着也离不开光学光刻。

这也正是负责人看了庄彦瑜的报告后，无语又头痛的一个地方。

“你说说，抛弃光学光刻，我们还能做什么芯片？我们花费这么多人力物力，才终于赶上了一些国际的脚步，走到了现在。你有心改良光刻轨道系统，我也很开心，但这步子不能迈得太大，咱华国人都是一步一步走过来的，走得踏实，也走得放心不是？”

庄彦瑜没说话，他手上拿着纸笔，已经开始在写写画画。

负责人：“小庄同志？”

庄彦瑜闻言抬头，一脸疑惑：“嗯？”

负责人：“……算了，你在写什么？”

难道是把自己刚刚说的话，全部记下来了？

这么认真？

负责人表情变得和善了

一些。

虽然这个年轻人胆子很大，但不管怎么说，在态度上还是……

一个念头还没转完，就听庄彦瑜说：“升级计划图，以及需要用到的材料。哦，对了，我还需要一台指定计算机，算法和运行系统我要改，现在的光学波长不行。而且你们的光探测器和相应的控制电路，用在步进光刻机和步进光刻扫描机中，竟然还使用快门来监测……这样控制曝光剂量错误率很高……算了，也没事，我会重新编写一套算法架构，制作另一套自动监测系统。”

负责人：“？？？”

负责人：“不是，你说你在写什么？”

升级计划图这就出来了？

他不是特地带这小年轻进来见见市面的吗？！

负责人还在震惊，一边的周青城已经跳跃了起来：“我那有！嫂子你去我那写吧！”

庄彦瑜点点头：“可以。”

周青城：“还车间其他地方还要看吗？比如硅片处理区？哦哦，还有那一边，那一边都是高温炉设备。”

庄彦瑜：“用的什么炉？卧式还是立式？”

周青城：“唔，是rtp（快速热处理），我们这边只是研究嘛，不是大批量生产的车间，所以就使用这个了。”

庄彦瑜可以理解：“那就不需要看了，反正就是过渡先用着，将来全部也要换的，我们走吧。”

周青城：“好嘞！”

两人边说边走了。